Addendum: Compliant electrostatic chuck based on hairy microstructure (2013Smart Mater. Struct.22 015019) and Electrostatic chuck consisting of polymeric electrostatic inductive fibers for handling of objects with rough surfaces (2013Smart Mater. Struct.2
| Auteur(s): |
Shigeki Saito
Takeshi Kikutani Kunio Takahashi Wataru Takarada Fumiaki Soda Kenji Sawai Radon Dhelika |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, juillet 2014, n. 7, v. 23 |
| Page(s): | 079401 |
| DOI: | 10.1088/0964-1726/23/7/079401 |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10225469 - Publié(e) le:
04.12.2018 - Modifié(e) le:
04.12.2018
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